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摘要
基于NXP 0.16μm CMOS工艺,设计并实现了一种温度、电容混合传感器的接口电路。温度传感器的前端基于双极型晶体管的温度依赖特性,将温度信息转换为与温度有关的电压信息;电容传感器的前端基于开关电容电路,将电容值转换为与电容有关的电荷。两个传感器共用一个2阶Δ-Σ模数转换器,以减小芯片面积。测试结果表明,在-55℃125℃范围内,温度传感器的准确度达到0.2℃(3σ);在03.8pF的范围内,电容传感器每一次测量的FOM值可达0.76pJ。整个芯片面积为0.2mm~2,供电电压为1.8V,电流为4.6μA。
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