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摘要
MEMS惯性开关是一种无源电子器件,集传感器与执行器为一体,具有尺寸小、制造成本低、可批量生产等多种优点,在玩具、汽车电子、物联网和军事等领域有着广泛的应用前景。由于惯性开关具有在未触发状态时待机功耗为零的特点,其在远程监控等电量有限的应用场景下有着明显的优势。介绍了MEMS惯性开关的基本物理模型和工作原理,并对影响器件工作效果的重要性能参数进行了分析。根据器件的导通方式、接触增强的设计方法、开关的敏感冲击方向和敏感的阈值大小,对国内外研究的惯性开关进行了分类和阐述。此外,还讨论了MEMS惯性开关的微加工工艺和测试。对MEMS惯性开关器件进行了相应的总结和展望,为之后的研究提供了参考。
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单位微米/纳米加工技术国家级重点实验室; 西安机电信息技术研究所; 上海交通大学
