电子级多晶硅生产尾气中无定型硅的产生原因及预防措施

作者：陈叮琳; 张才刚; 李有斌; 俞朝

来源：化工管理, 2020, (34): 78-79.

• 电子级多晶硅
• 无定型硅
• 预防措施

文章通过分析SiHCl3氢还原与尾气回收工艺过程,寻找伴生无定型硅生成的客观原因;根据无定型硅少产生、早拦截的原则,提出电子级多晶硅生产中无定型硅的预防措施,可以有效减少无定型硅的产生,提高气相沉积过程循环氢气纯度,进而提升电子级多晶硅产品质量。