铌酸锂单晶薄膜材料

作者：李青云; 朱厚彬; 张洪湖; 张秀全; 胡卉^*

来源：人工晶体学报, 2021, 50(04): 716-723.

DOI：10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2021.04.010

• 铌酸锂
• 薄膜
• 离子注入
• 直接键合
• 化学机械抛光

铌酸锂晶体集电光、声光和非线性光学等物理特性于一身,且透光范围宽,作为一种重要的光学材料被广泛应用于通信、传感等领域。通过离子注入与直接键合的方式制备出的铌酸锂单晶薄膜材料,保留了铌酸锂体材料的优秀物理特性,并且具有高折射率对比度的优点,使光子器件在集成度和性能上都得到了很大程度的提升。本文介绍了铌酸锂薄膜的制备及应用,展示了直径6英寸(1英寸=2.54 cm)的铌酸锂单晶薄膜。将硅单晶薄膜覆盖在铌酸锂单晶薄膜上面,形成一种新型的复合薄膜材料,结合了铌酸锂出色的光学性能和硅出色的电学性能,本文报道了直径3英寸的复合薄膜材料,X射线证明硅薄膜是单晶结构,这种复合薄膜在未来的集成光电芯片中具有应用潜力。

• 单位
  山东大学