分子泵转子多学科设计优化技术

作者：陶继忠; 吴祉群; 何朝晖; 王晓冬

来源：真空, 2016, 53(06): 1-4.

DOI：10.13385/j.cnki.vacuum.2016.06.01

• 涡轮分子泵
• 转子设计
• 多学科设计优化

转子是分子泵的关键部件,其结构参数的设计需要从抽气性能、转子动力学和强度等方面综合考虑,经过多次迭代才能满足要求,设计过程很复杂。本文采用多学科设计优化理念,基于优化总控软件平台,开发了应用接口软件,集成UG NX、ANSYS、MATLAB等软件,实现抽气性能计算、参数化几何建模、转子动态特性分析、应力与应变计算等功能模块的数据共享和优化迭代,对转子的结构参数进行自动优化,得到了优化的转子结构参数,为高质量、高效率开发系列化分子泵产品提供了技术支撑。

• 单位
  东北大学; 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所; 自动化学院