基于PZT的500 MHz超声传感器设计和MEMS制作

作者：刘嘉; 王续博; 徐卫疆; 周嘉^*

来源：传感器与微系统, 2018, 37(07): 63-69.

DOI：10.13873/j.1000-9787(2018)07-0063-03

• 超声传感器
• 高频
• 锆钛酸铅厚膜
• 压电材料

利用KLM等效电路模型设计了一种中心频率为478 MHz的超声传感器。采用溶胶—凝胶法在硅衬底上制备了厚度为4μm的锆钛酸铅(PZT)厚膜压电材料,对压电材料的晶体结构、表面剖面形貌、压电性进行了测试,材料均匀致密,具有较好的压电性。研究了超声传感器的制作工艺,制作出实际工作频率为459 MHz的高频超声传感器,搭建测试平台测试其电阻抗,实验值与理论值相匹配,电阻抗误差为1.8%,中心频率误差为3.9%。

• 单位
  专用集成电路与系统国家重点实验室; 复旦大学