一种用于液体介电常数测量的反射式太赫兹超材料传感器

作者：尹治平; 李先萍; 张国振; 杨军; 高浩宇; 邓光晟; 李迎

来源：2022-03-17, 中国, ZL202210264568.9.

本发明涉及一种用于液体介电常数测量的反射式太赫兹超材料传感器,包括：第一介质基板、金属谐振贴片、介质层、金属反射板和第二介质基板。该金属谐振贴片设有周期性排列的圆孔阵列结构,可在太赫兹波激励下实现谐振,其对称结构很大程度上减小了测量误差；金属谐振贴片上开有y轴方向的细缝并且贴片四周留有空隙,能将所有圆孔相连通,避免了空气堵塞在圆孔里对测量精度造成影响。介质层和金属反射板共同设置为水槽状结构,保证了传感器可以重复使用,极大降低成本。本传感器灵敏度为74.8GHz/RIU,线性相关系数高达0.999。并且本传感器结构简单且小型化,性能优越,适用于所有液体的折射率检测以及极少量的残留物检测,有利于太赫兹传感器的推广应用。

• 单位
  合肥工业大学