科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
为了满足小口径深孔类零件的高精度非接触测量需求，研制了一套适用于较大测量范围的高分辨力光学测量系统。利用色散共焦测量原理，建立了微位移量系统，结合光谱分析技术，形成了高分辨力光学测量系统。首先，基于色散共焦原理，设计了色散物镜结构；其次设计爬行结构，利用电机带动反射镜旋转，完成深管不同截面的径向几何尺寸测量；再次，通过最小二乘法以及误差分析与补偿，对系统误差进行分析；最后通过搭建实验平台验证。结果表明：该测量系统可实现小测量范围达到5 mm，测量误差优于3.3μm，具有测量精度高、测量范围较大、结构紧凑等优点，对解决小尺寸深孔类零件内径测量难题具有重要实用意义。
-
单位长春理工大学; 中国人民解放军63850部队
