球磨工艺对SPS烧结Mo-5%Ta合金靶材性能的影响

作者：刘大伟; 黄蕾; 张久兴; 潘亚飞^*

来源：硬质合金, 2022, 39(02): 94-101.

• 球磨
• SPS
• Mo-5%Ta合金靶材
• 组织
• 性能

采用球磨和放电等离子烧结（SPS）工艺制备了Mo-5%Ta（质量分数，下同）混合粉末及其合金，研究了不同球磨工艺对粉末形貌、粒度及烧结后合金微观结构、硬度及热导率的影响。结果表明：球磨时间和球磨转速均不同程度的改变了原始粉末的团聚现象，但低转速（150 r/min）球磨对粉末形貌的影响相对较小。随着球磨时间的增加，Mo-5%Ta粉末粒度先增大后减小，而随着球磨转速的增加，Mo-5%Ta粉末粒度先减小后增大。球磨后的Mo-5%Ta粉末经SPS烧结所得合金的组织细小均匀，随着球磨时间、球磨转速的增加，合金晶粒尺寸减小，相对密度先增加后降低，维氏硬度（HV0.5）增大，热导率（25°C）无明显变化。当球磨时间为20 h、球磨转速为300 r/min时，烧结样品的相对密度达到99.19%、晶粒尺寸为5.73μm、维氏硬度（HV0.5）为241.67及热导率（25°C）为159.34 W/（m·K）。

• 单位
  合肥工业大学