蓝宝石衬底基片平整加工专利分析

作者：周雪; 覃超

来源：河南科技, 2020, (06): 120-123.

• 蓝宝石
• 衬底
• 基片
• 平整
• 研磨
• 抛光
• 技术路线

蓝宝石是国际上公认的LED衬底材料,但其硬度高且脆性大机械加工困难,蓝宝石晶体切割后需要经过平整加工达到规定的平面度、粗糙度、晶格完整性等指标后方可使用。基于蓝宝石衬底片平整加工专利,本文从申请量、申请区域以及技术发展路线三方面展开分析。

• 单位
  国家知识产权局