真空阴极弧离子镀类金刚石碳膜Raman光谱研究

作者：李刘合; 武咏琴; 崔旭明; 张海泉; 张彦华; 夏立芳; 朱剑豪

来源：金属学报, 2004, 40(02): 220-224.

DOI：10.3321/j.issn:0412-1961.2004.02.021

• Raman光谱
• 类金刚石碳膜
• 弯曲弧磁过滤器
• 偏流 Raman spectrum
• diamond-like carbon film
• curved arc magnetic filter
• bias current

分别采用带有和不带有弯曲弧磁过滤器的真空阴极弧离子镀方法,在不同镀膜电流以及不同基片偏流下分别制备了类金刚石碳膜,对比了不同结构下类金刚石碳膜的Raman光谱特点。对其Raman光谱的D峰和G峰采用Gaussian-Lorentzion的几率分布进行了分峰,并着重讨论了基片偏流、弯曲磁场等沉积参数对膜结构的影响。结果表明,氩分压对膜结构影响不大,较大的偏流以及弯曲磁场的加入均有利于sp~3杂化碳键的形成。

• 单位
  香港城市大学; 自动化学院; 北京航空航天大学; 哈尔滨工业大学; 材料学院