混合产品的合成前馈/反馈批间控制方法

作者：郑英; 艾兵; 张杰; 王彦伟

来源：华中科技大学学报(自然科学版)科技大学, 2009, 37(06): 82-85.

DOI：10.3321/j.issn:1671-4512.2009.06.022

• 半导体生产
• 控制策略
• 批间控制
• 前馈控制
• 反馈控制

针对循环生产的半导体双产品制造过程提出了一种新的控制方法.此方法采用前面批次的参数估计机台漂移,机台干扰由前馈和未来批次的反馈控制综合决定.得到了系统输出和其渐进期望方差误差,并证明了渐进期望方差误差与不同产品的间隔无关.仿真结果表明这种方法是有效的.

• 单位
  华中科技大学