碳化硅结合氮化硅制品的发展现状

作者：滕莹雪^*

来源：科技资讯, 2013, (12): 86-87.

• 碳化硅结合氮化硅
• 制备方法
• 反应机理
• 用途

阐述了碳化硅结合氮化硅制品的主要制备方法、反应机理、用途以及影响其微观结构和性能的主要因素。新型氮化硅结合碳化硅制品,在不增加过多投资的情况下就可以达到提高产品质量、节能增产目的,是一种理想的更新换代产品。