一种基于石英基板的功分器制备研究

作者：梁广华; 贾世旺; 兰宝岩; 赵飞; 徐亚新; 龚孟磊; 刘晓兰

来源：电子工艺技术, 2018, 39(04): 198-222.

DOI：10.14176/j.issn.1001-3474.2018.04.004

• 石英基板
• 薄膜电路
• TaN电阻
• 高频微波电路
• 功分器

石英基板在高频毫米波太赫兹频段具有介电常数低和损耗低等优点,但是石英基板电路尤其是薄石英基板电路的加工难度较大。利用薄膜电路加工技术在石英基板上加工出一款分路器。通过对石英基板威尔金森功分器的研究和制备,分析并解决了含电阻石英薄膜电路基板加工中电阻图形化、电阻退火热处理和划切工艺的难点,并提出了一些新的方法,对石英基板在高频微波电路领域的应用具有较好的借鉴意义。

• 单位
  中国电子科技集团公司第五十四研究所