不同硅晶面指数上的类倒金字塔结构研究与分析

作者：陈全胜; 刘尧平; 陈伟; 赵燕; 吴俊桃; 王燕; 杜小龙^*

来源：Acta Physica Sinica, 2018, 67(22): 384-392.

• 硅的晶面检测
• 硅的晶面指数
• 类倒金字塔

晶体硅作为一种重要的半导体材料,在集成电路、太阳能电池等方面具有广泛的应用.基于各向异性的刻蚀方法,不同晶面指数的硅都可以在表面形成由{111}晶面族组成的正/倒金字塔.本文基于{111}晶面族与(abc)晶面相交构成类倒金字塔结构的特性,建立了硅的晶面指数(abc)与所形成的类倒金字塔结构的数学模型.将硅的晶面指数(abc)分成0ab <c, 0a <b=c, a=b=c三种情况进行讨论,分别得到不同晶面指数的类倒金字塔结构.实验结果的扫描电子显微镜图证实了理论计算的准确性.晶面指数与类倒金字塔结构具有一一对应的关系,因此可以根据各向异性刻蚀后的类倒金字塔结构,进行硅的晶面指数进行检测.

• 单位
  中国科学院物理研究所; 中国科学院大学