多晶硅生产废气回收处理工艺研究进展

作者：周万礼; 罗平; 王金; 任玖阳; 李友才

来源：云南化工, 2018, 44(05): 109-111.

• 多晶硅生产
• 废气回收
• 研究进展

阐述了多晶硅生产废气主要来源、组分、处理工艺及研究进展,提出了生产高品质多晶硅可选择的废气处理工艺。