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摘要
空气静压主轴是晶圆减薄设备的关键部件，其磨削晶圆的精度取决于空气静压止推轴承和径向轴承的静态性能。针对空气静压径向轴承在静态性能方面存在承载力小和刚度低等问题，研究了空气静压径向轴承结构参数对静态性能的影响。通过建立流体场数学模型和数值模型，对供气压力、平均气膜厚度、节流孔直径、节流孔个数以及节流孔轴向位置这几种因素对空气静压径向轴承静态性能的影响进行了研究，得出了相关因素与轴承承载力、刚度和耗气量的变化规律曲线，据此优选出空气静压径向轴承的最佳参数。通过对比，流体场数学模型计算结果与数值模型有限元分析结果误差为3%，验证了有限元仿真方法的准确性，为晶圆减薄设备空气静压径向轴承设计提供了理论依据。
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单位北京工业大学; 中国电子科技集团公司第四十五研究所
