薄膜型声表面波器件的研究进展

作者：赵程; 周佳成; 袁淑雅; 邓丽城; 王德波

来源：微电子学, 2021, 51(04): 570-576.

DOI：10.13911/j.cnki.1004-3365.210131

• 声表面波
• 薄膜结构
• 高频
• 高温

相较于传统的压电单晶声表面波器件,薄膜型声表面波器件具有成本低、易小型化、易集成化等优点。文章对几种薄膜型声表面波器件的研究进展进行了综述。首先,总结了几种常见的薄膜制备方法。然后,根据应用范围的不同将薄膜型声表面波器件分为高频器件和高温器件。根据这两大类型,综述了近年来较典型的五种薄膜型声表面波器件,介绍其制备流程、基本结构和高频/高温等特性。最后,对五种薄膜型声表面波器件进行对比,并对薄膜型声表面波器件的未来发展提出展望。该综述对薄膜型声表面波器件的实际应用及推广具有一定借鉴意义。

• 单位
  南京邮电大学