多晶硅生产系统热量转换工艺分析

作者：裴蕾^*; 段超; 孙强; 张征; 张晓伟; 陈辉

来源：现代化工, 2020, S1: 257-259.

DOI：10.16606/j.cnki.issn0253-4320.2020.S.057

• 热量转换
• 导热油系统
• 热水系统
• 闪蒸蒸汽
• 工艺对比

综述了多晶硅生产从还原系统到原料系统几种常见的热量转换工艺,包括导热油热量回收利用系统、高温水热量回收利用系统、高温水回收闪蒸低压蒸汽系统。介绍了热量转化工艺流程及其生产中的一些关键参数,并对比了每种工艺的优缺点。

• 单位
  洛阳中硅高科技有限公司