冷泵是PVD设备重要的组成部分，主要负责保持腔室内的真空环境，它利用高纯度氦气的压缩膨胀循环来达到冷板低温，通过低温冷板捕捉腔室内的气体达到高真空度的环境。若冷泵出现故障，将直接影响腔室内的真空度，间接地影响晶圆的加工质量；本文主要介绍由于氦气纯度低导致冷泵异响的一种分析方法。
科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
