双通道声表面波转速传感器

作者：严庆文; 魏益群; 李业隆; 沈美娥; 朱嘉林

来源：微纳电子技术, 2007, Z1: 260-262.

DOI：10.13250/j.cnki.wndz.2007.z1.075

• 声表面波
• 陀螺效应
• 角速力传感器 SAW
• gyroscopic effect
• rotation sensor

以声表面波中的陀螺效应为理论基础,通过数值计算获得了LiNbO3基底上声表面波波速随基底转动速率的变化,以此为依据设计了一种双通道声表面波转速敏感结构,制作出双通道声表面波转速传感器。通过实验,该传感器的分辨率为12Hz/r.s-1。

• 单位
  北京工商大学; 北京信息科技大学