四氟化硅的制备与纯化

作者：黄华璠; 张浩^*; 岳立平; 徐海云; 李丹丹; 罗文建

来源：当代化工, 2019, 48(04): 808-811.

DOI：10.13840/j.cnki.cn21-1457/tq.2019.04.038

• 四氟化硅
• 制备
• 纯化

四氟化硅是一种重要的特种气体,应用前景广阔。详细介绍了四氟化硅的性质、应用、制备方法及纯化方法,指出了每种制备方法及纯化方法的优缺点,并指明了后续的研究方向。

• 单位
  中国船舶重工集团公司第七一八研究所