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摘要
空间分辨率是光学显微成像系统的核心指标，根据光学衍射理论，成像系统的空间分辨率由照明光波长与显微物镜的数值孔径共同决定。而在实际成像过程中，根据不同判据得出的显微成像系统分辨率略有差异，需要根据光源的相干性和被观测目标的结构等特征选择合适的判据来准确计算成像系统分辨率。通过理论分析和数值模拟，给出了不同情况下成像分辨率的计算方法，并对比了在相干光源和非相干光源照明下，对双缝目标和双点目标成像时成像分辨率的差异。
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单位中国科学院西安光学精密机械研究所; 瞬态光学与光子技术国家重点实验室; 中国科学院大学
