一种防护涂层及其制备方法

作者：谢冬柏; 辛丽; 朱圣龙; 冯长杰; 王世臣; 王福会; 李明升

来源：2005-04-30, 其他国家, CN200510046367.8.

一种防护涂层,选用TiAl合金(含Al原子百分比为10％～30％)和纯Ti为靶材。所述涂层是施加中间层的TiAlN/TiN梯度涂层。其中：TiN合金涂层(2)直接沉积在基体(1)表面,然后在其表面依次沉积TiAl10N层(3)、TiAl20N层(4)及TiAl30N层(5)。本发明一种防护涂层的制备方法：首先在基体(1)表面制备TiN合金涂层(2)；然后在其表面依次沉积TiAl10N层(3)、TiAl20N层(4)及TiAl30N层(5)。本发明通过不同成分靶材和工艺参数的控制,解决了阻碍涂层应用于防腐领域的针孔、空洞及涂层之间的元素互扩散,结合力问题。

• 单位
  中国科学院