摘要
隧道磁电阻传感器(TMR)已开始批量商用,但还存在线性度不够理想,磁滞误差大的问题。研究了一种通过磁场闭环控制零磁通技术来提高TMR磁传感器的线性度和测量范围的方法。这种方法通过一个闭环反馈线圈来产生一个反馈磁场,以此抵消外部磁场,从而降低传感器的实际工作磁场大小,使其工作在零磁场附近,从而提高传感器的线性度和测量范围。而反馈磁场大小与被测磁场大小相等,方向相反,其实际大小可由测量反馈电流大小确定。对这种闭环反馈控制零磁通技术进行了理论分析和计算,并设计了相应样机进行了测试。通过这种方法,TMR磁传感器的测量范围由±2Gs提高到了±7Gs,亦可通过加大反馈电流达到更高。同时,其非线性度由全量程(F.S.)的2%降低到了0.05%,而磁滞误差由1.7%F.S.降低到了0.0428%F.S.,证明了该方法切实可行。
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单位华中科技大学; 光学与电子信息学院