常温纳米压印软模具变形机理研究

作者：兰红波; 丁玉成; 刘红忠; 阙艳荣; 陶巍巍; 李寒松; 卢秉恒

来源：中国科学E辑:技术科学 , 2009, (01): 74-83.

• 纳米压印
• 软模具
• 变形
• 抗蚀剂减薄
• 复型精度
• 数值模拟

通过对软模具变形的理论分析、数值模拟和实验验证的系统研究,以期揭示模具变形的机理、规律和关键影响因素,为探索减小模具变形策略和方法,提高纳米压印复型精度奠定理论基础,以实现高保真度纳米或亚纳米图型的转移.

• 单位
  山东大学; 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室