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摘要
微纳坐标测量机(micro/nano CMMs)上的接触式扫描探针可以产生振动信号，实现微米范围内的三维测量。基于白光低相干干涉原理，提出了一种简单的非本征法布里-珀罗干涉(EFPI)结构，用于一维非接触式位移测量。其传感结构包括光纤端面和镀金反射镜，二者互相平行形成EFPI结构。传感器使用目标表面和光纤探针之间的光程差(OPD)来计算位移大小。该传感系统可测量64.52～970.55μm的长度范围，分辨率为1 nm。提出了用互相关函数(CCF)算法作为位移解调方法，为三坐标测量机实现高分辨率、大范围、快速扫描测量提供了一种新方法，为非接触式多维形貌测量传感器的开发开辟了新途径。
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单位中国电子科技集团公司第四十九研究所; 哈尔滨工程大学
