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摘要
第四代同步辐射光源与X射线自由电子激光对光学元件波前形状保持和光束相干性传递提出更高要求，光学元件实际工作状态下面形变化对光束波前与相干性保持的影响更加突出。但目前基于可见光开发的测量仪器只能实现离线测量，必须发展工作波长下光学元件误差测量技术。为了支撑高性能光源波前调控与先进实验技术开发，并在工作波长下实现实验室级面形测量，本文搭建了微焦点X射线光栅干涉仪实验平台，光栅干涉仪是一种具有极高灵敏度的波前传感技术，可定量测量X射线波前畸变。分别利用相位步进和傅里叶条纹分析技术，重建条纹的相位及波前曲率半径分布，进而计算出波前角度和镜面斜率误差分布。测量结果与长程面型仪（Long Trace Profiler, LTP）比对具有很好的一致性，两者差值的均方根（Root Mean Square, RMS）小于200 nrad。该技术可应用于X射线主动光学波前在线反馈调控，反射、折射、衍射器件误差检测，大科学装置X射线光束质量评估等领域。
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