集成电路湿法工艺与湿法设备制造技术研究

作者：宋文超; 李家明; 贾祥晨; 刘广杰; 王洪建

来源：电子工业专用设备, 2022, 51(02): 30-65.

• 集成电路
• 湿法工艺
• 湿法设备
• 栅氧清洗
• 湿法去胶
• 氮化硅腐蚀

简述了集成电路制造中的湿法工艺，重点介绍了栅氧清洗、RCA清洗、去胶、氮化硅去除、氧化硅腐蚀等湿法工艺，并对槽式湿法设备的关键制造技术进行了讲解。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十五研究所