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集成电路湿法工艺与湿法设备制造技术研究
作者:宋文超; 李家明; 贾祥晨; 刘广杰; 王洪建
来源:
电子工业专用设备
, 2022, 51(02): 30-65.
集成电路
湿法工艺
湿法设备
栅氧清洗
湿法去胶
氮化硅腐蚀
摘要
简述了集成电路制造中的湿法工艺,重点介绍了栅氧清洗、RCA清洗、去胶、氮化硅去除、氧化硅腐蚀等湿法工艺,并对槽式湿法设备的关键制造技术进行了讲解。
单位
中国电子科技集团公司第四十五研究所
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