耐湿性有序介孔SiO2减反射膜的制备及光学性能分析

作者:曲倞萱; 贾红宝*; 魏栋; 汪文文; 王颖; 朱世海
来源:辽宁科技大学学报, 2023, 46(02): 153-160.
DOI:10.13988/j.ustl.2023.02.011

摘要

采用氟硅烷链对有序介孔SiO2光学减反射薄膜进行表面改性,有效提高其在潮湿环境中的稳定性。以三嵌段共聚物F127为模板剂,以正硅酸四乙酯为前驱物,在酸催化的醇体系中制备SiO2溶胶。采用提拉法在石英基底上镀制薄膜,经350℃热处理后得到有序介孔SiO2薄膜,薄膜对中心波长的透射率达到99.83%。通过嫁接氟硅烷链对薄膜表面进行改性,以有效阻止羟基和微孔开口对水蒸气的吸附。薄膜耐湿性测试在相对湿度80%、温度40℃的可控环境中进行,每隔15天进行一次薄膜透射光谱测试,采用光谱拟合方法分析薄膜的光学常数随测试时间的变化。结果表明,在湿度环境下,薄膜结构沿厚度方向具有非均匀性,薄膜折射率由靠近基底的边界到薄膜-空气界面呈非线性下降趋势。

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