通过合理选取等间距采样点的数目，利用快速傅里叶变换算法解释了有限通光光阑产生的“内密外疏”菲涅尔衍射条纹。基于菲涅尔衍射，在静态曝光、动态扫描条件下分别实现了～190 nm最小特征尺寸图形制备，以及～350 nm线宽线条直写。菲涅尔衍射光刻无需复杂的光学透镜组合，无需任何微纳衍射光学元件，且具有较大的聚焦容差。该方法有望成为一种新型的，低成本、高灵活度的亚波长图形制备手段。
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