硅基压电MEMS球形矢量水听器设计

作者：李芬; 石树正; 杨翔宇; 何剑

来源：传感器与微系统, 2020, 39(03): 84-86.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2020)03-0084-03

• 微机电系统(MEMS)
• 压电效应
• 矢量水听器
• 灵敏度

为实现水听器体积微型化,提高其固有频率并保证灵敏度,提出了一种新型无源器件,即基于压电效应的微机电系统(MEMS)一维球形矢量水听器。使用COMSOL软件进行仿真设计,确定器件关键尺寸。采用MEMS工艺加工制得器件并进行测试,结果表明:该水听器灵敏度达到-205 dB(0 dB=1 V/μPa),固有频率可达到1. 6 kHz,具有良好的一维指向性。

• 单位
  中北大学; 河北建筑工程学院