氮气压强对脉冲激光沉积类金刚石薄膜和红外光学特性的影响

作者：罗乐; 汪毅; 储雅琼; 高健; 方晓东; 陶汝华

来源：中国激光, 2011, (09): 149-154.

• 薄膜
• 类金刚石
• 脉冲激光沉积法
• 氮气压强
• 微结构
• 傅里叶变换红外光谱 thin films
• diamond-like carbon
• pulsed laser deposition
• nitrogen pressure
• microstructure
• Fourier transform infrared spectra

为了研究氮气压强对脉冲激光沉积(PLD)类金刚石(DLC)薄膜和红外光学特性的影响,在脉冲激光沉积类金刚石薄膜的实验过程中,把沉积腔抽真空到10-5Pa,再在沉积腔中分别充入10-3、10-2和10-1Pa的氮气来沉积类金刚石薄膜。用拉曼光谱仪和X射线光电子能谱仪(XPS)对类金刚石薄膜的微结构与组成进行检测分析;用原子力显微镜(AFM)对薄膜的表面形貌进行检测分析;用傅里叶变换红外光谱仪(FTIR)对类金刚石薄膜的红外光透射谱进行检测分析。实验结果表明,沉积腔中的氮气压强从10-3Pa增加到10-1Pa时,类金刚石薄膜中sp3键含量增加;C-O和C=O含量减少;石墨晶粒尺寸减小;薄膜表面粗糙...

• 单位
  中国科学院，安徽光学精密机械研究所; 中国科学院安徽光学精密机械研究所; 合肥工业大学