微结构模芯电铸工艺分析及系统设计

作者：蒋炳炎; 强军; 刘宇杰; 罗坤杰; 董彦灼

来源：模具工业, 2020, 46(12): 68-71.

DOI：10.16787/j.cnki.1001-2168.dmi.2020.12.012

• 微电铸
• 微结构型芯
• 模块化设计
• 真空装夹

传统机加工方法难以保证微/纳尺度结构模芯的加工精度,精密电铸法操作简单、生产成本低、成型精度高,已成为微/纳结构模芯重要的加工方法。设计了一套用于微结构模芯电铸系统,系统具有的特点:模块化设计,简单修改可适用多种模芯尺寸的加工;采用真空唇装夹阴极,密封好防止漏液;添加了PH、水位传感器,可有效实现PH及水位控制。最后以微流控芯片为例,得到了微结构复制质量高、表面平整的型芯。

• 单位
  中南大学; 高性能复杂制造国家重点实验室