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摘要
基于光学读取头改装的非接触式微纳米测头已广泛应用于阶高、线宽和微小角度的测量。为了追求更高的精度与分辨力而提高聚焦透镜数值孔径(NA)则会使读取头内四象限传感器输出聚焦误差信号曲线的线性区间急剧减小，从而使测头系统的纵向可测量范围降低。为了在进一步提高纵向分辨力的情况下，扩大其纵向测量行程，基于蓝光DVD读取头研发了一种触发式非接触测头。既利用高NA值透镜测头的高精度和高分辨力，又通过触发测量的方式解除了高NA值带来低测量范围的限制，提高了测头的适用性。实验结果表明：该测头的纵向分辨力优于1 nm,重复性误差为18 nm,纵向测量范围可达10μm。
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