246nm p-i-n型背照AlGaN太阳盲紫外探测器的研制

作者：颜廷静; 种明; 赵德刚; 张爽; 陈良惠

来源：红外与激光工程, 2011, 40(1).

DOI：10.3969/j.issn.1007-2276.2011.01.007

• AlGaN
• 太阳盲
• 紫外探测器
• 面阵

设计并制备出短波长p-i-n型背照AlGaN太阳盲紫外探测器,响应波段为225～255 nm,峰值波长为246nm.材料为在蓝宝石衬底上生长的背照式p-i-n型异质结结构,n型窗口层的AlxGa1-xN中的Al组分为71%,非故意掺杂吸收层中的Al组分为52%.零偏压下测得的暗电流为27 pA,光电流为2.7nA,峰值响应度为23mA/W.并在此基础上制备出大面阵太阳盲紫外探测器芯片,其像元数为128×128,光敏元直径为44μm,像元间距为50μm.

• 单位
  中国科学院