激光诱发前向转移技术在电子制造领域的应用

作者：刘威; 王春青; 田艳红; 窦广斌; 叶交托

来源：电子工艺技术, 2013, (02): 70-72+78.

DOI：10.14176/j.issn.1001-3474.2013.02.001

• 激光诱发转移技术
• 微细加工
• 薄膜
• 电子制造 Laser induced forward transfer
• Micromachining
• Thin film
• Electronics fabrication

激光诱发前向转移是基于激光的诱导作用实现微量物质转移的技术。转移过程中激光与薄膜材料发生相互作用,使薄膜从源透明基板上剥离,转移到目标基板上,发生转移的薄膜最终在目标基板上发生沉积。作为微细加工的一种手段,激光诱发前向转移技术具备制作微小结构的能力,能实现金属、有机物、半导体和生物材料等多种材料的转移和图形制作,在电子制造领域有着广阔的应用前景。

• 单位
  先进焊接与连接国家重点实验室; 英国帝国理工大学; 哈尔滨工业大学