基于铟锡氧化物/Ti复合电极的高亮度碳纳米管场致发射冷阴极

作者：潘金艳; 张文彦; 高云龙

来源：Acta Physica Sinica, 2010, (12): 8762-8769.

• 碳纳米管
• 冷阴极
• 场致发射
• 均匀性 carbon nanotube
• cold cathode
• field emission
• uniformity

通过制作亲碳性铟锡氧化物(ITO)/Ti复合电极,改善移植型碳纳米管(CNT)冷阴极的导电电极与CNT膜层之间附着性能,从而消除CNT与电极间的界面势垒和非欧姆接触对CNT阴极场发射均匀性和稳定性的影响.采用磁控溅射技术和丝网印刷工艺制作了ITO/Ti基CNT阴极.用X射线衍射仪和场致发射扫描电子显微镜表征CNT阴极结构,结果显示热处理后的ITO/Ti基CNT阴极中可能有TiC相生成,从而使得导电电极与CNT形成有中间物的强作用体系.该体系降低甚至消除电极与CNT之间的界面势垒,增加了CNT与电极间形成欧姆接触的概率.用四探针技术分析电阻率,结果表明ITO/Ti复合电极具有电阻并联效果,CNT...

• 单位
  西北有色金属研究院; 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室; 集美大学