为解决长行程与高精度之间的矛盾,研制了由直线电机执行器和压电驱动微执行器组成的双级执行器系统。针对第一级执行器提出了自适应离散滑模控制方法,自适应离散趋近律具有时变性,有效减少了抖振。针对第二级执行器提出预测模型离散积分滑模控制算法,有效减小了稳定时间,解决了系统中因为干扰、参数摄动、噪声等引发的不确定问题,增强了系统的鲁棒性,消除抖振,提升了响应速度。仿真结果表明,所研制的控制方法可有效解决双级执行器运动的大范围与高精度定位问题。
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