传感器表面磁控溅射Mg-Sn涂层组织及导电特性分析

作者：张晓斌^*; 张远; 李海生

来源：真空科学与技术学报, 2020, 40(08): 782-786.

DOI：10.13922/j.cnki.cjovst.2020.08.15

• Mg2Sn涂层
• 微观组织
• 电导率
• 迁移率

采用磁控溅射的方法在传感器用单晶Si衬底上制备一层Mg-Sn涂层,实验测试研究溅射次数对其组织及导电特性的影响。研究结果表明:沉积涂层内形成了具有明显尺寸差异的颗粒,从而形成了粗糙的表面。随着溅射次数增加,Mg含量发生了逐渐降低的现象,Sn与O元素含量表现为逐渐升高的变化规律。随着溅射剥离时间的增加,Mg1s峰位从1286降低至1285 eV,表现为涂层深度增大后,Mg1s发生了峰位降低的现象。出现在沉积薄膜内的O主要是为了提高靶材的成型能力而加入一些有机物所产生的。各涂层都具有正的Hall系数,可以判断属于p型半导体。当涂层内Mg含量发生减小后,电导率也随之减小。当涂层内形成更少的Mg2Sn与更多的Sn之后,引起了载流子浓度的下降,引起迁移率的减小。

• 单位
  河南建筑职业技术学院; 国开新能源科技有限公司; 河南科技大学