Co-W-WC配比对传感器用HVOF制备SiO2膜组织及光学性能的影响

作者：康兰兰^*; 王军艳; 周旭宜; 曲亚琳

来源：真空科学与技术学报, 2021, 41(06): 546-550.

DOI：10.13922/j.cnki.cjvst.202006052

• Co-W-WC
• 吸收复合膜
• 光学性能
• 热稳定性
• 超音速火焰喷涂

采用超音速火焰喷涂工艺(HVOF)制得不同配比的Co-W-WC吸收层,之后在上述吸收层表面继续通过Sol-Gel方法制得SiO2复合膜,测试了其微观组织及光学性能。研究结果表明:复合膜中形成了Co、W与WC特征峰,有些Hcp-Co颗粒在喷涂阶段转变成Fcc-Co结构。逐渐提高WC的加入量后,复合膜表面形成了更少的弥散态未熔颗粒,获得了光滑致密组织。W∶WC达到1∶1时,有助于降低表面粗糙度,使吸收层获得更低发射率。逐渐减小W/WC比值后,反射率发生增大,吸收率下降,表明W具备比WC更强的光谱吸收能力。SiO2薄膜因具备较小的折射率,有助于短波光线透过,因此吸收层可以获得更多入射光。经过100 h热处理后,吸收率增大至0.915,发射率达到0.2516,并未观察到复合膜脱落的情况,表明SiO2复合膜具有稳定的光学性能稳定。

• 单位
  中原工学院信息商务学院; 中国空空导弹研究院; 河南建筑职业技术学院