用溶胶凝胶法在FTO导电玻璃基片上沉积LiTaO3薄膜,采用TG-DTA、SEM、XRD、UV-Vis光谱法分析薄膜的表面形貌、结晶性能和光学性能。结果表明,650°C下退火的薄膜具有在(006)晶向上强烈的择优取向性,表面形貌均匀致密,薄膜裂纹减少,杂质LiTa3O8峰的半高峰宽和光学带隙Eg明显受到薄膜结晶性能的影响,光学带隙值Eg随着杂质LiTa3O8半高峰宽的降低而增加,LiTaO3薄膜的光学带隙Eg蓝移从3.87 eV增加到3.91 eV。
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