镍磷合金镀层表面磁流变抛光效率实验

作者：艾博; 薛常喜^*; 张斌智; 李经伟

来源：长春理工大学学报(自然科学版), 2020, 43(05): 78-82.

• 镍磷合金镀层
• 磁流变抛光
• 正交实验
• 抛光效率

分析了化学镀Ni-P合金沉积机理中最为重要的原子氢理论,简述了磁流变抛光过程中材料去除机理,并选取在磁流变抛光过程中主要的工艺参数进行正交实验。利用Zygo干涉仪等实验仪器检测实验件面形,计算出每个去除函数的峰值去除率。通过实验数据分析各因素对Ni-P合金镀层抛光效率的影响规律。实验结果表明各因素对Ni-P镀层抛光效率的影响关系:抛光粉浓度>抛光间隙>抛光轮转速>镀层厚度,通过实验并结合工程实际情况对各工艺参数进行了优化,为后续Ni-P合金镀层非球面表面抛光打下基础。

• 单位
  长春理工大学; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所