InP高压直拉单晶炉的热场优化设计与分析

作者：梁仁和; 曾周末; 孙聂枫; 王书杰; 孙同年

来源：仪器仪表学报, 2018, 39(11): 95-102.

DOI：10.19650/j.cnki.cjsi.J1803896

• 高压单晶炉
• 磷化铟单晶
• 晶体生长
• 碳/碳复合材料
• 热场

高压直拉单晶炉的热场对磷化铟(InP)晶体生长过程有重要影响,存在缺陷的热场很难生长出合格的InP单晶,因此对InP晶体生长的热场进行优化设计与分析非常必要。提出了采用新型的碳/碳(C/C)复合材料加热器、复合固化硬毡为保温筒的热场结构,并通过仿真设计优化了InP单晶热场,解决了原有的以石墨加热器和碳纤维软毡为基础的InP单晶热场稳定性和对称性差以及使用寿命短的问题。经过实验测试,加热效率提高了25%,使用寿命达到90炉以上。

• 单位
  天津大学; 中国电子科技集团公司第十三研究所; 电子工程学院