高密度电子系统的微热控技术研究

作者：李晖; 李左翰; 胡少勤; 米佳; 毛世平

来源：微电子学, 2020, 50(04): 548-554.

DOI：10.13911/j.cnki.1004-3365.200187

• 电子系统
• 微热控技术
• 散热管理
• 微通道
• 微热管
• 微喷射

在摩尔定律提出之后的50年时间里,电子系统的集成度和组装度不断提高,功率和热流密度越来越大,微热管理技术已成为高密度电子系统(包括元器件、芯片、组/部件及系统本身)设计与制造的重要研究目标。文章分析了微热控技术的发展背景,叙述了微通道、微热管和微喷射等三种基本热控系统的典型结构和工作原理。最后,介绍了近年来具有代表性的微热控技术的发展现状和技术成果。

• 单位
  中国电子科技集团公司第二十六研究所; 中国电子科技集团公司第二十四研究所