摘要

对全自动太阳能印刷系统的硅片自动对准的原理进行详细描述,对其可行性及计算方法进行分析,寻找可能产生的误差及其范围,并指出减小误差的措施。

  • 单位
    中国电子科技集团公司第四十五研究所