脉冲激光外延生长YBa_2Cu_3O_(7–δ)涂层导体LaMnO_3缓冲层

作者：刘宗洁; 鲁玉明; 范峰; 刘志勇; 蔡传兵

来源：电子元件与材料, 2012, (02): 26-29.

DOI：10.14106/j.cnki.1001-2028.2012.02.008

• 缓冲层
• 涂层导体
• 双轴织构
• RABiTS
• LaMnO3 buffer layers
• coated conductors
• biaxial texture
• RABiTS
• LaMnO3

采用脉冲激光沉积技术在双轴织构的Ni95W5(Ni-5W)合金基底上外延生长了LaMnO3(LMO)薄膜作为涂层导体缓冲层,研究了沉积温度对LMO薄膜生长织构和表面形貌的影响。研究结果表明:沉积温度对LMO薄膜的表面形貌有一定的影响;在沉积温度为650℃时,LMO薄膜具有良好的(00l)取向,薄膜表面平整均匀,光滑致密,其均方根粗糙度在2 nm以下;而且,在此LMO缓冲层上外延生长的YBa2Cu3O7–δ超导层具有良好的双轴织构,超导转变温度Tc为92 K,转变宽度小于1 K,临界电流密度Jc为5.3×105A/cm2(77 K,自场)。

• 单位
  上海大学