离子注入机金属铝离子源的气源的优选

作者：孙勇; 王迪平; 陈洪; 彭立波

来源：电子工艺技术, 2021, 42(03): 147-169.

DOI：10.14176/j.issn.1001-3474.2021.03.007

• 注铝离子注入机
• 金属铝离子源
• 束流质谱

注铝离子注入机,是宽禁带半导体SiC产业的关键设备,金属铝离子源直接影响了整机的性能指标,特别是PM周期和离子源寿命。为保证离子源的长寿命和铝离子大束流,针对金属铝离子源放电的辅助气源进行了一系列的研究和实验,包括铝离子产额、束流质谱、阴极使用寿命及污染导致的放电打火情况等,通过实验结果筛选出最佳的气源。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十八研究所; 中国电子科技集团公司第二研究所