摘要

在透明科技领域,以往学术界发表的论文多关于透明氧化物半导体的研究,研究者探索将透明氧化物用于薄膜晶体管(TFT)电极,但TFT中不透明金属电极阻碍了透射率。目前透明电极主要依赖于氧化铟锡、铟掺杂的氧化锌或其他含铟氧化物。文章阐明了不同透明电极对透明氧化物薄膜器件电学性能的影响,如氧化铟锡(ITO)、氧掺铝氧化锌(AZO)和铟锌氧化物(IZO),为今后研究透明氧化物薄膜晶体管的透明电极提供了参考。