基于AZO/VO2/AZO结构的电压诱导相变红外光调制器

作者：徐婷婷; 李毅; 陈培祖; 蒋蔚; 伍征义; 刘志敏; 张娇; 方宝英; 王晓华; 肖寒

来源：Acta Physica Sinica, 2016, 65(24): 210-218.

• AZO/VO2/AZO
• 光透过率
• 相变
• 阈值电压

采用直流磁控溅射和后退火工艺先在掺Al氧化锌(AZO)导电玻璃基底上制备了高质量的VO2薄膜,再在VO2膜层上制备AZO导电膜,最终制备出了AZO/VO2/AZO三明治结构.测试了VO2/AZO复合薄膜和AZO/VO2/AZO三明治结构的组分、微结构以及光学特性,结果表明VO2/AZO复合薄膜在800—2300 nm红外区域其相变前后的最大透过率差值达24%,而AZO/VO2/AZO三明治结构在相同波长范围内其相变前后的最大透过率差值可达31%.通过在AZO/VO2/AZO三明治结构导电膜层上施加不同电压,观察到不同外界温度下电流的突变,当外界温度越高,所需阈值电压越低.AZO/VO2/AZO三明治结构性能稳定,制备工艺简单,有望应用于集成式红外光调制器.

• 单位
  上海理工大学; 上海电力大学; 上海健康医学院